ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
IRNAP08957305, Number of state registration0120РК00241
TitleStudy of the growth mechanism of nano- and microparticles in the plasma of radio-frequency discharge at various duty cycle modulations
Scientific priorityНаучные исследования в области естественных наук
Type of researchFundamental
ApplicantНАО "Атырауский университет имени Халела Досмухамедова"
Project InvestigatorБатрышев Дидар
SSTE score26.66
Total approved sum4958232.8
Expected results
буферлік және реакциялық газдардың әртүрлі ағындары кезінде, сондай-ақ жоғары жиілікті сигналдың жұмыс циклінің әртүрлі модуляциясы кезінде газ фазасынан химиялық тұндыру әдісімен жоғары жиілікті разряд плазмасындағы нано- және микробөлшектерді синтездеу бойынша жұмыстар жүргізілді